10L小型真空中频设备助力微纳器件实验室攻克传统湿法化学处理对高分子玻璃等材料造成的污染残留与精细结构损伤难题

一、客户背景与挑战

国内某专注于前沿传感器与微流控芯片研发的高水平大学微纳器件实验室，其研究范畴涵盖多种高分子、玻璃以及复合材料的精密键合与表面修饰等领域，而传统湿法化学处理因在微观尺度上存在污染残留、反应不均以及易损伤精细结构等一系列问题，这些问题不仅严重制约着器件性能的极限，还对研发效率产生了不良影响，在此情况下，实验室对于一种清洁、温和且可控性极高，能够适应其多材料、小批量、高要求科研探索的表面处理设备存在迫切需求。

二、解决方案

鉴于实验室对于工艺精细度、灵活性以及洁净度所怀揣的极致追求，在等离子体技术领域，尤其是于中频电源领域拥有多年成熟经验的诚峰智造，推荐了一款名为CF - PLM10L（MF）的小型真空等离子（中频）处理系统，此设备因采用中频电源技术，所以具备等离子体产生稳定且均匀、能量温和的特点，能够有效避免高频放电这种情况可能对敏感元器件造成的损伤，并且其10L容积的真空腔体设计紧凑，特别适合用于小型、精密的研发样件，同时该系统还支持反应离子刻蚀（RIE）、等离子体清洁与活化等多种模式，可实现一机多用，能够完美匹配科研过程中频繁变更的工艺需求，另外全数字化触控界面的设置，让参数设定与工艺管理变得极为简便。

三、应用成果

当该系统被投入使用之后便成为了该实验室里多个重点项目在开展研发工作时所依赖的关键设备，在针对微流控芯片的PDMS键合这一工艺过程当中实现了具备超高强度的永久键合情况，并且键合的均匀性达到了极佳的程度，而在传感器电极表面进行清洁与活化的操作时则显著地使得信噪比以及检测灵敏度都得到了提高，研究人员所反馈的该设备具有操作简便以及工艺重复性好的特点，为其能够在生物传感、微纳工程等一系列前沿领域中实现创新突破提供了既可靠又高效的平台方面的支持，进而对科研进程起到了大大加速的作用。

四、关于我们

在历经十余年于等离子体技术领域的深度耕耘之后，诚峰智造所构建的产品线得以实现从基础科研层面的需求到规模化生产阶段的覆盖，而在此过程中所呈现出的相关案例，不仅能够将我们为大型产线量身定制解决方案的能力加以彰显，同时也足以表明我们可凭借自身所掌握的精湛“小精密”技术，为前沿科学研究以及技术创新提供有力的赋能支持，进而达成陪伴客户将创意逐步转化为现实成果的目标。