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诚峰智造CRF - VPO - 80L - GP/GH的真空等离子清洗机,作为具备着高达80升腔体容积的一种大容量真空等离子处理系统,采用的乃是PLC与触摸屏集...
诚峰智造CRF - VPO - 80L - GP/GH的真空等离子清洗机,作为具备着高达80升腔体容积的一种大容量真空等离子处理系统,采用的乃是PLC与触摸屏集成的控制系统,凭借这种系统使得操作变得直观又简便且能够实现精确的工艺控制,该系统所提供的GP和GH这两种型号,它们之间主要的区别体现在电极板布置方式上,其中GP型采用的是水平布置形式的可活动抽取式电极,而GH型则是运用竖电极布置腔体的设计,这两种型号均能够支持最多8层处理结构并且有效处理面积可以达到400mm×300mm 。
设备电源所采用的配置具有较高灵活性,既能够从600 - 1000W且频率为13.56MHz的射频电源或者1000 - 2000W、频率处于40KHz的中频电源里去进行选用;而对于该系统来说,被配备了两路具有独立性的气体通道,此通道对诸如氩气、氮气、氧气以及四氟化碳等多种工艺气体予以支持,且其流量是在0 - 500SCCM这个范围之内能够进行调节的;针对腔体而言,可使用铝合金或者不锈钢这类材质,并且依据工艺具体要求去选配油泵或者干泵真空系统,以便于满足百级无尘车间这样的环境使用相关要求。
该被设计为兼顾高精度以及快速响应特点、拥有良好操控性和兼容性的设备,不仅具备超大处理空间,从而在提升处理产能方面能够起到显著作用,而且它所适用的范围广泛涵盖印制线路板行业里高频板表面活化、多层板去钻污这些环节,以及半导体IC领域中COB/COG/COF工艺清洗部分,甚至还包括硅胶、塑胶、汽车电子与航空工业等诸多领域内的表面粗化、刻蚀连同活化处理。


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